先進硅工藝集成實驗室

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借助本地戰略合作伙伴的工藝基礎，開展高密度、多結構的立體集成技術研究。在成本和技術先進性共同考量下，可完成傳感器網絡，微系統集成等方向工藝的技術探索，并進行新結構、新器件和新技術的市場化應用。

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